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XYXYZ72壓電宏微復合平臺 產品特點
XY宏動毫米行程，適于鏡頭等位置橫向調整
Z向微動微米行程，適于光學聚焦調整
Φ35mm中心通孔，適于透射光應用
技術參數
| 型號 | XY72N81K13 | XYZ72SN81K13 | XYZ72KN81K13 | 單位 |
| 運動自由度 | X Y | X Y Z | X Y Z | |
| XY 宏動行程 | ±5 | ±5 | ±5 | mm |
| Z 微調行程 | - | 8@150V | 8@150V | μm |
| XY 最小位移增量 | <30 | <30 | <30 | nm |
| Z 分辨率 | - | 0.3 | 0.1 | nm |
| Z 微調傳感器 | - | SGS | - | |
| Z 線性度 | - | 0.25 | - | %F.S. |
| Z 重復定位精度 | - | 0.25 | - | %F.S. |
| Z 空載諧振頻率 | - | 2.5 | 2.5 | kHz |
| 承載能力 | 1.5 | 正立：500 | 正立：500 | g |
| 側放：200 | 側放：200 | |||
| 中心通孔 | φ35 | φ35 | φ35 | mm |
| 重量 | - | 695 | 695 | g |
| 壓電螺釘連接器 | RJ11 | RJ11 | RJ11 |
XYXYZ72壓電宏微復合平臺
